返信が遅くなって申し訳ありません。「ソー■シタ」と切っていいですね。動詞的な意味は薄れていますが、「した」は、一応、動詞「する」の活用形です。「そして」の意味の「そうして」と違って、「そうした」が1語化しているという話も聞きませんし。
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